SJT 31069-1994 PRS-801型等离子去胶机完好要求和检查评定方法
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ID： |
CF01A3292E364E17A29633C6883FDA14 |
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文件大小(MB)： |
0.24 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,PRS-801型等离子去胶机完好 SJ/T 31069-94,要求和检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了半导体器件集成电路生产用等离子去胶机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于PRS-8O1型等离子去胶机,2完好要求,2d主要技术性能指标,2.1-1设备生产效率:75片/h；,2-1-2 真空度:く 6.7X107Pa；,2-1-3功率控制精度:土 5%；,2.1 -4反向功率:W5W；,2-1-5圆片片间的均匀性:<5%；,2-1-6电源13. 56MHz、65OW具有完善的失配保护和自动阻抗配套装置,2.2 操作系统,2. 2.1各操纵按钮灵活,启动可靠,标志齐全,2.2- 2各传感器限位装置齐全,灵敏、可靠,2-3气路系统,2- 3-1气路系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振动和显著的冲击,不应有停,滞现象,2.3- 2各流量计指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内校验合格证,2-3-3气路各接头,悯门元件之间连结应牢固、密封、无漏气现象,2.3- 4各气动阀、手动阀工作正常,开启、关闭灵活,工作到位,2.4真 空系统,机械泵工作稳定,技术性能满足生产エ艺要求。具体完好要求参照SJ/T 31412-94执行,2.5电 气系统,2.5 .1电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全完整,指示正确可靠。各种线路标志明显,连接,可靠,线路无老化、破损,2.5 -2电气装置齐全,管线完整,性能良好,运行可靠,线路板及其它接触器、继电器接触可,靠，动作灵敏可靠,2. 5.3各电磁接触器、磁力启动器动作灵敏,接触可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,SJ/T 31069-94,2. 5.4各种开关动作灵活可靠,自动保护装置及报警装置齐全,工作灵敏,安全、可靠,2.6 微机控制系统,2.6.I 各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.6.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.6.3 输入/输岀程序正确无误,2. 6.4打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2.6.5 装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.6.6 所有裸露导体件（包括外壳）,必须与保护接地端子构成通路,保证有永久良好的导电,性,保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于,2.7 安全防护,2. 7-1设备保护盖板,挡尘板齐全,完整无损,牢固、可靠,2.7 -2设备接地可靠,标志明显,2.8 维护保养,按SJ/T 31002— 94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3-1检査方法,3.1 -1用热偶规管检测真空度,3.1.2 用金相显微镜观察园片残余胶及均匀性,3.1.3 用功率表计测试反向功率及控制功率精度,3.2评 定方法,3. 2-1主要项目有2.1.1、2.1. 2,2.1. 3、2.1. 4、2.1. 5,其余为次要项目,3. 2.2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2- 3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:丁桃宝、姚亮、吴正伟、王家平、顾军建,—2 —……
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